Нарны эсүүд

Нарны эсүүд нь талст цахиур болон аморф цахиурт хуваагддаг бөгөөд тэдгээрийн дотроос талст цахиур эсүүд нь монокристалл эсүүд болон поликристалл эсүүдэд хуваагддаг;монокристалл цахиурын үр ашиг нь талст цахиураас ялгаатай.

Ангилал:

Хятадад өргөн хэрэглэгддэг нарны талст цахиур эсүүдийг дараахь байдлаар хувааж болно.

Нэг болор 125*125

Нэг болор 156*156

Поликристал 156*156

Нэг болор 150*150

Нэг болор 103*103

Поликристал 125*125

Үйлдвэрлэлийн үйл явц:

Нарны зайг үйлдвэрлэх үйл явц нь цахиур ялтсуудыг шалгах – гадаргуугийн бүтэцжүүлэх, даршилж авах – диффузийн уулзвар – цахиурын шилийг фосфоргүйжүүлэх – плазмын сийлбэр хийх, даршилж авах – ойлтын эсрэг бүрэх – дэлгэцэн дээр хэвлэх – хурдан шингэлэх гэх мэтээр хуваагддаг. Дэлгэрэнгүй мэдээллийг дараах байдлаар харуулав.

1. Цахиур ялтсын үзлэг

Цахиур хавтан нь нарны зайг зөөвөрлөгч бөгөөд цахиур хавтангийн чанар нь нарны зайг хувиргах үр ашгийг шууд тодорхойлдог.Иймд орж ирж байгаа цахиур ялтсуудыг шалгах шаардлагатай.Энэ процесс нь голчлон цахиурын хавтанцарын зарим техникийн үзүүлэлтүүдийг онлайнаар хэмжихэд хэрэглэгддэг ба эдгээр үзүүлэлтүүдэд голчлон өрөмийн гадаргуугийн тэгш бус байдал, цөөнхийн тээвэрлэгчийн ашиглалтын хугацаа, эсэргүүцэл, P/N төрөл, микро хагарал гэх мэт орно. Энэ бүлгийн тоног төхөөрөмжийг автоматаар ачих буулгах гэж хуваадаг. , цахиур хавтан дамжуулах, системийн нэгтгэх хэсэг, дөрвөн илрүүлэх модуль.Тэдгээрийн дотроос фотоволтайк цахиур хавтан илрүүлэгч нь цахиурын гадаргуугийн тэгш бус байдлыг илрүүлэхийн зэрэгцээ цахиурын хавтанцарын хэмжээ, диагональ зэрэг гадаад үзэмжийн параметрүүдийг нэгэн зэрэг илрүүлдэг;бичил хагарал илрүүлэх модуль нь цахиур ялтсын дотоод бичил хагарлыг илрүүлэхэд ашиглагддаг;Нэмж дурдахад, хоёр Илрүүлэх модуль байдаг бөгөөд онлайн туршилтын модулиудын нэг нь цахиур хавтанцарын их хэмжээний эсэргүүцлийн чанар болон цахиурын хавтангийн төрлийг шалгахад ашиглагддаг бол нөгөө модуль нь цахиур хавтанцарын цөөн тооны тээвэрлэгчийн ашиглалтын хугацааг илрүүлэхэд ашиглагддаг.Цөөнхийн зөөвөрлөгчийн ашиглалтын хугацаа ба эсэргүүцлийг илрүүлэхийн өмнө цахиурын диагональ ба бичил хагарлыг илрүүлж, гэмтсэн цахиур хавтанг автоматаар арилгах шаардлагатай.Цахиур хавтан шалгах төхөөрөмж нь өрмөнцөрийг автоматаар ачиж буулгахаас гадна шаардлага хангаагүй бүтээгдэхүүнийг тогтмол байрлалд байрлуулж, шалгалтын нарийвчлал, үр ашгийг дээшлүүлдэг.

2. Гадаргуугийн бүтэцтэй

Нэг талст цахиурын бүтэц бэлтгэх нь цахиурын анизотроп сийлбэрийг ашиглан цахиурын квадрат см тутамд сая сая тетраэдр пирамид, өөрөөр хэлбэл пирамид бүтцийг бий болгох явдал юм.Гадаргуу дээр туссан гэрлийн тусгал олон удаа хугардаг тул гэрлийн шингээлт нэмэгдэж, батерейны богино залгааны гүйдэл, хувиргах үр ашиг сайжирдаг.Цахиурын анизотроп сийлбэрийн уусмал нь ихэвчлэн халуун шүлтлэг уусмал юм.Боломжтой шүлтүүд нь натрийн гидроксид, калийн гидроксид, литийн гидроксид, этилендиамин юм.Илгэн цахиурын ихэнх хэсгийг 1% орчим концентрацитай натрийн гидроксидын хямд шингэрүүлсэн уусмалаар бэлтгэдэг бөгөөд сийлбэрийн температур 70-85 ° C байна.Нэг төрлийн илгэн материал авахын тулд цахиурын зэврэлтийг түргэсгэхийн тулд этилийн спирт, изопропанол зэрэг спиртийг уусмалд нэмэх хэрэгтэй.Илгэн цаасыг бэлтгэхийн өмнө цахиур хавтан дээр гадаргуугийн урьдчилсан сийлбэр хийх шаардлагатай бөгөөд ойролцоогоор 20-25 мкм-ийг шүлтлэг эсвэл хүчиллэг сийлбэртэй уусмалаар сийлсэн байна.Илгэн цаасыг сийлсэний дараа ерөнхий химийн цэвэрлэгээ хийдэг.Гадаргуугаар бэлтгэсэн цахиур ялтсуудыг бохирдуулахгүйн тулд усанд удаан хадгалж болохгүй, аль болох хурдан тараах хэрэгтэй.

3. Тархалтын зангилаа

Гэрлийн энергийг цахилгаан эрчим хүч болгон хувиргахад нарны зайд том талбай бүхий PN уулзвар хэрэгтэй бөгөөд диффузын зуух нь нарны зайн PN уулзварыг үйлдвэрлэх тусгай төхөөрөмж юм.Хоолойн диффузын зуух нь үндсэндээ дөрвөн хэсгээс бүрдэнэ: кварц завины дээд ба доод хэсэг, яндангийн хийн камер, зуухны биеийн хэсэг, хийн кабинетийн хэсэг.Диффуз нь ерөнхийдөө фосфорын оксихлоридын шингэний эх үүсвэрийг тархалтын эх үүсвэр болгон ашигладаг.Хоолойн диффузын зуухны кварцын саванд P хэлбэрийн цахиур ялтсыг хийж, азотын тусламжтайгаар кварцын саванд 850-900 хэмийн өндөр температурт фосфорын оксихлорид оруулна.Фосфорын оксихлорид нь цахиурын хавтантай урвалд орж фосфорыг олж авдаг.атом.Тодорхой хугацааны дараа фосфорын атомууд цахиурын хавтанцарын гадаргуугийн давхаргад эргэн тойронд нэвтэрч, цахиурын атомуудын завсраар цахиур хавтан руу нэвтэрч, тархаж, N хэлбэрийн хагас дамжуулагч ба P-ийн хоорондох интерфейсийг үүсгэдэг. төрөл хагас дамжуулагч, өөрөөр хэлбэл, PN уулзвар.Энэ аргаар үйлдвэрлэсэн PN уулзвар нь сайн жигд, хуудасны эсэргүүцлийн жигд бус байдал 10% -иас бага, цөөнхийн тээвэрлэгчийн ашиглалтын хугацаа 10 мс-ээс их байж болно.PN уулзвар үйлдвэрлэх нь нарны зай үйлдвэрлэх хамгийн үндсэн бөгөөд чухал үйл явц юм.Энэ нь PN уулзвар үүсэх тул электронууд болон нүхнүүд урсаад анхны байрандаа буцаж ирдэггүй тул гүйдэл үүсч, гүйдэл нь шууд гүйдэл болох утсаар татагддаг.

4. Фосфорийг задлах силикат шил

Энэ процессыг нарны зай үйлдвэрлэх процесст ашигладаг.Химийн сийлбэрээр цахиур ялтсыг фторын хүчлийн уусмалд дүрж, химийн урвал үүсгэж, уусдаг нийлмэл нэгдэл гексафторосилицилийн хүчил үүсгэж, тархалтын системийг арилгадаг.Холболтын дараа цахиур хавтангийн гадаргуу дээр фосфосиликат шилний давхарга үүссэн.Тархалтын явцад POCL3 нь O2-тэй урвалд орж P2O5 үүсгэдэг бөгөөд энэ нь цахиурын хавтан дээр хуримтлагддаг.P2O5 нь Si-тэй урвалд орж SiO2 болон фосфорын атомуудыг үүсгэдэг бөгөөд ийм байдлаар цахиурын хавтанцарын гадаргуу дээр фосфорын элемент агуулсан SiO2-ийн давхарга үүсдэг бөгөөд үүнийг фосфосиликат шил гэж нэрлэдэг.Фосфорын силикат шилийг зайлуулах төхөөрөмж нь ерөнхийдөө үндсэн их бие, цэвэрлэх сав, серво хөтөч систем, механик гар, цахилгаан удирдлагын систем, хүчил түгээлтийн автомат системээс бүрдэнэ.Эрчим хүчний гол эх үүсвэр нь фторын хүчил, азот, шахсан агаар, цэвэр ус, салхины дулаан, хаягдал ус юм.Усны фторын хүчил нь цахиуртай урвалд орж дэгдэмхий цахиур тетрафторидын хий үүсгэдэг тул цахиурын хүчил уусдаг.Усны фторын хүчил хэт их байвал урвалын үр дүнд үүссэн цахиур тетрафторид нь фторын хүчилтэй дахин урвалд орж уусдаг нэгдэл болох гексафтороцитийн хүчил үүсгэдэг.

5. Плазмын сийлбэр

Тархалтын явцад ар араасаа тархалттай байсан ч фосфор нь цахиур хавтангийн ирмэг зэрэг бүх гадаргуу дээр тархах нь гарцаагүй.PN уулзварын урд талд цуглуулсан фото үүсгэсэн электронууд нь PN уулзварын арын хэсэгт фосфор тархаж буй захын хэсгийн дагуу урсаж, богино холболт үүсгэдэг.Тиймээс нарны зайны эргэн тойрон дахь нэмэлттэй цахиурыг сийлсэн байх ёстой бөгөөд эсийн ирмэг дээрх PN уулзварыг арилгах хэрэгтэй.Энэ процессыг ихэвчлэн сийвэн сийлбэрлэх аргыг ашиглан хийдэг.Плазмын сийлбэр нь нам даралтын төлөвт байгаа бөгөөд реактив хийн CF4-ийн эх молекулууд нь радио давтамжийн хүчээр өдөөгдөж, ионжуулалт үүсгэж, плазм үүсгэдэг.Плазм нь цэнэгтэй электрон ба ионуудаас тогтдог.Электронуудын нөлөөгөөр урвалын камерт байгаа хий нь ион болон хувирахаас гадна эрчим хүчийг шингээж, олон тооны идэвхтэй бүлгүүдийг үүсгэдэг.Идэвхтэй реактив бүлгүүд нь диффузийн улмаас эсвэл цахилгаан талбайн нөлөөгөөр SiO2-ийн гадаргуу дээр хүрч, сийлбэрлэх материалын гадаргуутай химийн урвалд орж, дэгдэмхий урвалын бүтээгдэхүүн үүсгэдэг. сийлбэртэй, вакуум системээр хөндийгөөс шахдаг.

6. Эсрэг тусгалын бүрээс

Өнгөлсөн цахиурын гадаргуугийн тусгал 35% байна.Гадаргуугийн тусгалыг бууруулж, эсийн хувиргалтын үр ашгийг дээшлүүлэхийн тулд цахиурын нитридын эсрэг цацрагийн хальсыг буулгах шаардлагатай.Аж үйлдвэрийн үйлдвэрлэлд PECVD төхөөрөмжийг ихэвчлэн тусгалын эсрэг хальс бэлтгэхэд ашигладаг.PECVD нь плазмын сайжруулсан химийн уурын хуримтлал юм.Техникийн зарчим нь бага температурт плазмыг эрчим хүчний эх үүсвэр болгон ашиглах, дээжийг нам даралтын дор гялалзах туяаны катод дээр байрлуулж, дээжийг урьдчилан тогтоосон температурт халаахад ашигладаг. SiH4 ба NH3 реактив хийнүүд орж ирдэг.Хэд хэдэн химийн урвал, плазмын урвалын дараа дээжийн гадаргуу дээр хатуу төлөвт хальс, өөрөөр хэлбэл цахиурын нитридын хальс үүсдэг.Ерөнхийдөө энэхүү сийвэнгээр сайжруулсан химийн уурын хуримтлуулах аргаар хуримтлагдсан хальсны зузаан нь ойролцоогоор 70 нм байна.Ийм зузаантай хальс нь оптик функцтэй байдаг.Нимгэн хальсан интерференцийн зарчмыг ашиглан гэрлийн тусгалыг их хэмжээгээр бууруулж, богино залгааны гүйдэл, зайны гаралтыг ихээхэн нэмэгдүүлж, үр ашгийг нь эрс сайжруулдаг.

7. дэлгэцэн дээр хэвлэх

Нарны зай нь бүтэцжүүлэх, тархах, PECVD процессыг даван туулсны дараа гэрэлтүүлгийн дор гүйдэл үүсгэх боломжтой PN уулзвар бий болсон.Үүсгэсэн гүйдлийг экспортлохын тулд зайны гадаргуу дээр эерэг ба сөрөг электродуудыг хийх шаардлагатай.Электрод хийх олон арга байдаг бөгөөд дэлгэцэн дээр хэвлэх нь нарны зайн электродыг үйлдвэрлэх хамгийн түгээмэл үйлдвэрлэлийн процесс юм.Дэлгэц хэвлэх гэдэг нь товойлгох аргаар субстрат дээр урьдчилан тодорхойлсон хэв маягийг хэвлэх явдал юм.Тоног төхөөрөмж нь аккумуляторын арын хэсэгт мөнгө-хөнгөн цагаан зуурмаг хэвлэх, батерейны ар талд хөнгөн цагаан зуурмаг хэвлэх, батерейны урд талд мөнгөн зуурмаг хэвлэх гэсэн гурван хэсгээс бүрдэнэ.Түүний ажиллах зарчим нь: торны хэв маягийн торыг ашиглан зутан руу нэвтэрч, хусуураар дэлгэцийн зутан хэсэгт тодорхой шахалт хийж, дэлгэцийн нөгөө үзүүр рүү нэгэн зэрэг хөдөлнө.Бэхийг хөдөлгөхдөө хусуураар график хэсгийн торноос субстрат руу шахдаг.Зуурмагийн наалдамхай нөлөөгөөр дардас нь тодорхой хязгаарт тогтдог бөгөөд хэвлэх явцад хусуур нь дэлгэцэн дээр хэвлэх хавтан болон субстраттай үргэлж шугаман холбоо барих бөгөөд контактын шугам нь хусуурын хөдөлгөөнөөр хөдөлж дуусгах болно. хэвлэх цус харвалт.

8. хурдан шингэлэх

Дэлгэцэн дээр хэвлэсэн цахиурын хавтанг шууд ашиглах боломжгүй.Органик давирхайн холбогчийг шатаахын тулд үүнийг агломерын зууханд хурдан шингэлэх шаардлагатай бөгөөд шилний үйл ажиллагааны улмаас цахиурын ялтастай нягт наалдсан бараг цэвэр мөнгөн электродууд үлдэх болно.Мөнгөний электрод ба талст цахиурын температур эвтектик температурт хүрэхэд талст цахиурын атомууд хайлсан мөнгөний электродын материалд тодорхой хувь хэмжээгээр нэгдэж, улмаар дээд ба доод электродын омик контактыг үүсгэж, нээлттэй хэлхээг сайжруулдаг. эсийн хүчдэл ба дүүргэх хүчин зүйл.Гол параметр нь эсийн хувиргалтын үр ашгийг дээшлүүлэхийн тулд эсэргүүцлийн шинж чанартай болгох явдал юм.

Цутгах зуухыг урьдчилан шингэлэх, шингэлэх, хөргөх гэсэн гурван үе шатанд хуваадаг.Урьдчилан шингэлэх үе шатны зорилго нь зутан дахь полимер холбогчийг задлах, шатаах явдал бөгөөд энэ үе шатанд температур аажмаар өсдөг;агломерын үе шатанд янз бүрийн физик, химийн урвалууд нийлэгжсэн биед хийгдэж, эсэргүүцэлтэй хальсан бүтцийг бий болгож, түүнийг жинхэнэ эсэргүүцэлтэй болгодог., энэ үе шатанд температур дээд цэгтээ хүрдэг;хөргөх, хөргөх үе шатанд шилийг хөргөж, хатууруулж, хатууруулж, эсэргүүцэлтэй хальсан бүтэц нь субстрат дээр тогтворгүй наалддаг.

9. Захын төхөөрөмжүүд

Эсийн үйлдвэрлэлийн явцад цахилгаан хангамж, эрчим хүч, усан хангамж, ус зайлуулах суваг, HVAC, вакуум, тусгай уур зэрэг захын байгууламжууд шаардлагатай.Аюулгүй байдал, тогтвортой хөгжлийг хангахад гал түймрээс хамгаалах болон байгаль орчныг хамгаалах хэрэгсэл нь онцгой чухал юм.Жилд 50 МВт-ын хүчин чадалтай нарны зай үйлдвэрлэх шугамын хувьд зөвхөн процесс болон цахилгаан төхөөрөмжийн эрчим хүчний зарцуулалт 1800 кВт орчим байна.Технологийн цэвэр усны хэмжээ нь цагт 15 тонн орчим бөгөөд усны чанарын шаардлага нь БНХАУ-ын GB/T11446.1-1997 электрон зэрэглэлийн усны EW-1 техникийн стандартад нийцдэг.Технологийн хөргөлтийн усны хэмжээ мөн цагт 15 тонн орчим, усны чанар дахь ширхэгийн хэмжээ 10 микроноос ихгүй, усан хангамжийн температур 15-20 ° C байх ёстой.Вакуум яндангийн эзэлхүүн нь ойролцоогоор 300 М3 / цаг байна.Үүний зэрэгцээ 20 орчим шоо метр азот хадгалах сав, 10 шоо метр хүчилтөрөгч хадгалах сав шаардлагатай.Силан зэрэг тусгай хийн аюулгүй байдлын хүчин зүйлсийг харгалзан үйлдвэрлэлийн аюулгүй байдлыг бүрэн хангахын тулд тусгай хийн өрөөг бий болгох шаардлагатай.Үүнээс гадна силан шаталтын цамхаг, бохир ус цэвэрлэх байгууламжууд нь эсийн үйлдвэрлэлд зайлшгүй шаардлагатай байгууламжууд юм.